Attrezzatura Co., srl di automazione di Hangzhou Qianrong.
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| Luogo di origine: | Cina |
|---|---|
| Marca: | FUNSONIC |
| Certificazione: | CE |
| Numero di modello: | FS620 |
| Quantità di ordine minimo: | 1 unità |
| Prezzo: | Negotation |
| Imballaggi particolari: | imballato dal caso di legno |
| Termini di pagamento: | T/T, Western Union |
| Capacità di alimentazione: | Unità 1000 al mese |
| Nome della produzione: | Macchine per la spruzzatura ad ultrasuoni di precisione | Frequenza: | 60 kHz |
|---|---|---|---|
| Potenza massima: | 1-15W | Volume di spruzzatura continuo massimo: | 20-1200 ml/h/pcs, scalabile |
| Larghezza effettiva di spruzzatura: | 2-260 mm/pcs, scalabile | Uniformità della spruzzatura: | ≥ 95% |
| Viscosità della soluzione: | ≤ 30cps | Voltaggio di ingresso: | 220V±10%/50-60Hz |
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Sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori
Descrizione:
La spruzzatura ad ultrasuoni è un processo semplice, economico e riproducibile per il rivestimento fotoresistente nella lavorazione dei wafer in fotolitografia.Il sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori di FUNSONIC utilizza una tecnologia avanzata di stratificazione per controllare finemente il flussoIl stampaggio a spruzzo a bassa velocità definisce lo spruzzo atomizzato come un modello preciso e controllabile per evitare sovraspruzzo e produrre strati molto sottili e uniformi.
Il sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori di FUNSONIC ha vantaggi nel depositare rivestimenti più uniformi.specialmente lungo la parte superiore delle pareti laterali di scanalature ad alto rapporto di aspetto e strutture a scanalature a forma di VLa rotazione centrifuga non può depositare rivestimenti uniformi lungo le pareti laterali, senza accumulare troppa fotoresistenza sul fondo della cavità.
Parametri:
| Tipo di prodotto |
Macchina per rivestimento a spruzzo ad ultrasuoni di precisione Tipo di ufficio di laboratorio FS310 |
Intelligente macchina di rivestimento ad ultrasuoni di precisione tipo desktop FS620 |
| Frequenza di funzionamento dell'ugello di spruzzatura | 20-200KHz | 20-200KHz (Normalmente utilizzare 60100110120K) |
| Potenza dell'ugello | 1-15W | 1-15W |
| Volume di spruzzatura continuo massimo | 00,01 - 50 ml/min | 00,01 - 50 ml/min |
| Larghezza effettiva di spruzzatura | 2-100 mm | 2-100 mm |
| Uniformità della spruzzatura | ≥ 95% | ≥ 95% |
| Tasso di conversione della soluzione | ≥ 95% | ≥ 95% |
| Spessore della pellicola secca | 20 nm-100 μm | 20 nm-100 μm |
| Viscosità della soluzione | ≤ 30cps | ≤ 30cps |
| Intervallo di temperatura | 1-60°C | 1-60°C |
| Particelle atomizzate (valore medio) | 10-45 μm (acqua distillata), determinata dalla frequenza dell'ugello | 10-45 μm (acqua distillata), determinata dalla frequenza dell'ugello |
| Pressione di deviazione massima | ≤ 0,10 MPA | ≤ 0,15 MPA |
| Voltaggio di ingresso | 220V±10%/50-60Hz | 220V±10%/50-60Hz |
| Modalità di esercizio | X+Y due assi completamente automatici, regolazione manuale dell'asse Z | XYZ a tre assi, programmabile in modo indipendente |
| Modalità di controllo | Carta microcomputer, touch screen da 7 pollici + pulsanti | FUNSONIC sistema di controllo dello spruzzo, controllo PLC, schermo touch full-color da 13,3 pollici |
| Contenuto del controllo | Spruzzo ad ultrasuoni, approvvigionamento di liquidi, riscaldamento, dispersione ad ultrasuoni e altri sistemi | Spruzzo ad ultrasuoni, approvvigionamento di liquidi, riscaldamento, dispersione ad ultrasuoni e altri sistemi |
| Metodo di approvvigionamento di liquidi | Pompa di iniezione di precisione | Pompa di iniezione di precisione |
| Sistema di dispersione ad ultrasuoni (facoltativo) | 50 ml, 40K, campionatore biologico | 20 ml o 50 ml, 40K, campionatore biologico |
| Potenza nominale del sistema di dispersione ad ultrasuoni | 200W, 10A | 100 W |
Vantaggi:
1Copertura uniforme della pellicola su varie superfici.
2. in grado di rivestire scanalature ad alto rapporto di aspetto con un'eccellente uniformità.
3- Spray non intasante.
4. capace di depositare strati sottili di singolo micron altamente uniformi.
5- Processo di spruzzatura maturo ripetibile.
Sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori