MOQ: | 1 unità |
prezzo: | Negotation |
standard packaging: | imballato dal caso di legno |
payment method: | T/T, Western Union |
Supply Capacity: | Unità 1000 al mese |
Sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori
Descrizione:
La spruzzatura ad ultrasuoni è un processo semplice, economico e riproducibile per il rivestimento fotoresistente nella lavorazione dei wafer in fotolitografia.Il sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori di FUNSONIC utilizza una tecnologia avanzata di stratificazione per controllare finemente il flussoIl stampaggio a spruzzo a bassa velocità definisce lo spruzzo atomizzato come un modello preciso e controllabile per evitare sovraspruzzo e produrre strati molto sottili e uniformi.
Il sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori di FUNSONIC ha vantaggi nel depositare rivestimenti più uniformi.specialmente lungo la parte superiore delle pareti laterali di scanalature ad alto rapporto di aspetto e strutture a scanalature a forma di VLa rotazione centrifuga non può depositare rivestimenti uniformi lungo le pareti laterali, senza accumulare troppa fotoresistenza sul fondo della cavità.
Parametri:
Tipo di prodotto |
Macchina per rivestimento a spruzzo ad ultrasuoni di precisione Tipo di ufficio di laboratorio FS310 |
Intelligente macchina di rivestimento ad ultrasuoni di precisione tipo desktop FS620 |
Frequenza di funzionamento dell'ugello di spruzzatura | 20-200KHz | 20-200KHz (Normalmente utilizzare 60100110120K) |
Potenza dell'ugello | 1-15W | 1-15W |
Volume di spruzzatura continuo massimo | 00,01 - 50 ml/min | 00,01 - 50 ml/min |
Larghezza effettiva di spruzzatura | 2-100 mm | 2-100 mm |
Uniformità della spruzzatura | ≥ 95% | ≥ 95% |
Tasso di conversione della soluzione | ≥ 95% | ≥ 95% |
Spessore della pellicola secca | 20 nm-100 μm | 20 nm-100 μm |
Viscosità della soluzione | ≤ 30cps | ≤ 30cps |
Intervallo di temperatura | 1-60°C | 1-60°C |
Particelle atomizzate (valore medio) | 10-45 μm (acqua distillata), determinata dalla frequenza dell'ugello | 10-45 μm (acqua distillata), determinata dalla frequenza dell'ugello |
Pressione di deviazione massima | ≤ 0,10 MPA | ≤ 0,15 MPA |
Voltaggio di ingresso | 220V±10%/50-60Hz | 220V±10%/50-60Hz |
Modalità di esercizio | X+Y due assi completamente automatici, regolazione manuale dell'asse Z | XYZ a tre assi, programmabile in modo indipendente |
Modalità di controllo | Carta microcomputer, touch screen da 7 pollici + pulsanti | FUNSONIC sistema di controllo dello spruzzo, controllo PLC, schermo touch full-color da 13,3 pollici |
Contenuto del controllo | Spruzzo ad ultrasuoni, approvvigionamento di liquidi, riscaldamento, dispersione ad ultrasuoni e altri sistemi | Spruzzo ad ultrasuoni, approvvigionamento di liquidi, riscaldamento, dispersione ad ultrasuoni e altri sistemi |
Metodo di approvvigionamento di liquidi | Pompa di iniezione di precisione | Pompa di iniezione di precisione |
Sistema di dispersione ad ultrasuoni (facoltativo) | 50 ml, 40K, campionatore biologico | 20 ml o 50 ml, 40K, campionatore biologico |
Potenza nominale del sistema di dispersione ad ultrasuoni | 200W, 10A | 100 W |
Vantaggi:
1Copertura uniforme della pellicola su varie superfici.
2. in grado di rivestire scanalature ad alto rapporto di aspetto con un'eccellente uniformità.
3- Spray non intasante.
4. capace di depositare strati sottili di singolo micron altamente uniformi.
5- Processo di spruzzatura maturo ripetibile.
Sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori
MOQ: | 1 unità |
prezzo: | Negotation |
standard packaging: | imballato dal caso di legno |
payment method: | T/T, Western Union |
Supply Capacity: | Unità 1000 al mese |
Sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori
Descrizione:
La spruzzatura ad ultrasuoni è un processo semplice, economico e riproducibile per il rivestimento fotoresistente nella lavorazione dei wafer in fotolitografia.Il sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori di FUNSONIC utilizza una tecnologia avanzata di stratificazione per controllare finemente il flussoIl stampaggio a spruzzo a bassa velocità definisce lo spruzzo atomizzato come un modello preciso e controllabile per evitare sovraspruzzo e produrre strati molto sottili e uniformi.
Il sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori di FUNSONIC ha vantaggi nel depositare rivestimenti più uniformi.specialmente lungo la parte superiore delle pareti laterali di scanalature ad alto rapporto di aspetto e strutture a scanalature a forma di VLa rotazione centrifuga non può depositare rivestimenti uniformi lungo le pareti laterali, senza accumulare troppa fotoresistenza sul fondo della cavità.
Parametri:
Tipo di prodotto |
Macchina per rivestimento a spruzzo ad ultrasuoni di precisione Tipo di ufficio di laboratorio FS310 |
Intelligente macchina di rivestimento ad ultrasuoni di precisione tipo desktop FS620 |
Frequenza di funzionamento dell'ugello di spruzzatura | 20-200KHz | 20-200KHz (Normalmente utilizzare 60100110120K) |
Potenza dell'ugello | 1-15W | 1-15W |
Volume di spruzzatura continuo massimo | 00,01 - 50 ml/min | 00,01 - 50 ml/min |
Larghezza effettiva di spruzzatura | 2-100 mm | 2-100 mm |
Uniformità della spruzzatura | ≥ 95% | ≥ 95% |
Tasso di conversione della soluzione | ≥ 95% | ≥ 95% |
Spessore della pellicola secca | 20 nm-100 μm | 20 nm-100 μm |
Viscosità della soluzione | ≤ 30cps | ≤ 30cps |
Intervallo di temperatura | 1-60°C | 1-60°C |
Particelle atomizzate (valore medio) | 10-45 μm (acqua distillata), determinata dalla frequenza dell'ugello | 10-45 μm (acqua distillata), determinata dalla frequenza dell'ugello |
Pressione di deviazione massima | ≤ 0,10 MPA | ≤ 0,15 MPA |
Voltaggio di ingresso | 220V±10%/50-60Hz | 220V±10%/50-60Hz |
Modalità di esercizio | X+Y due assi completamente automatici, regolazione manuale dell'asse Z | XYZ a tre assi, programmabile in modo indipendente |
Modalità di controllo | Carta microcomputer, touch screen da 7 pollici + pulsanti | FUNSONIC sistema di controllo dello spruzzo, controllo PLC, schermo touch full-color da 13,3 pollici |
Contenuto del controllo | Spruzzo ad ultrasuoni, approvvigionamento di liquidi, riscaldamento, dispersione ad ultrasuoni e altri sistemi | Spruzzo ad ultrasuoni, approvvigionamento di liquidi, riscaldamento, dispersione ad ultrasuoni e altri sistemi |
Metodo di approvvigionamento di liquidi | Pompa di iniezione di precisione | Pompa di iniezione di precisione |
Sistema di dispersione ad ultrasuoni (facoltativo) | 50 ml, 40K, campionatore biologico | 20 ml o 50 ml, 40K, campionatore biologico |
Potenza nominale del sistema di dispersione ad ultrasuoni | 200W, 10A | 100 W |
Vantaggi:
1Copertura uniforme della pellicola su varie superfici.
2. in grado di rivestire scanalature ad alto rapporto di aspetto con un'eccellente uniformità.
3- Spray non intasante.
4. capace di depositare strati sottili di singolo micron altamente uniformi.
5- Processo di spruzzatura maturo ripetibile.
Sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori