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Sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori

Sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori

MOQ: 1 unità
prezzo: Negotation
standard packaging: imballato dal caso di legno
payment method: T/T, Western Union
Supply Capacity: Unità 1000 al mese
Informazioni Dettagliate
Luogo di origine
Cina
Marca
FUNSONIC
Certificazione
CE
Numero di modello
FS620
Nome della produzione:
Macchine per la spruzzatura ad ultrasuoni di precisione
Frequenza:
60 kHz
Potenza massima:
1-15W
Volume di spruzzatura continuo massimo:
20-1200 ml/h/pcs, scalabile
Larghezza effettiva di spruzzatura:
2-260 mm/pcs, scalabile
Uniformità della spruzzatura:
≥ 95%
Viscosità della soluzione:
≤ 30cps
Voltaggio di ingresso:
220V±10%/50-60Hz
Evidenziare:

sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni

,

sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente

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Product Description

Sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori


 
Descrizione:


La spruzzatura ad ultrasuoni è un processo semplice, economico e riproducibile per il rivestimento fotoresistente nella lavorazione dei wafer in fotolitografia.Il sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori di FUNSONIC utilizza una tecnologia avanzata di stratificazione per controllare finemente il flussoIl stampaggio a spruzzo a bassa velocità definisce lo spruzzo atomizzato come un modello preciso e controllabile per evitare sovraspruzzo e produrre strati molto sottili e uniformi.
Il sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori di FUNSONIC ha vantaggi nel depositare rivestimenti più uniformi.specialmente lungo la parte superiore delle pareti laterali di scanalature ad alto rapporto di aspetto e strutture a scanalature a forma di VLa rotazione centrifuga non può depositare rivestimenti uniformi lungo le pareti laterali, senza accumulare troppa fotoresistenza sul fondo della cavità.

 
 
Parametri:

 

Tipo di prodotto

Macchina per rivestimento a spruzzo ad ultrasuoni di precisione Tipo di ufficio di laboratorio

FS310

Intelligente macchina di rivestimento ad ultrasuoni di precisione tipo desktop

FS620

Frequenza di funzionamento dell'ugello di spruzzatura 20-200KHz 20-200KHz (Normalmente utilizzare 60100110120K)
Potenza dell'ugello 1-15W 1-15W
Volume di spruzzatura continuo massimo 00,01 - 50 ml/min 00,01 - 50 ml/min
Larghezza effettiva di spruzzatura 2-100 mm 2-100 mm
Uniformità della spruzzatura ≥ 95% ≥ 95%
Tasso di conversione della soluzione ≥ 95% ≥ 95%
Spessore della pellicola secca 20 nm-100 μm 20 nm-100 μm
Viscosità della soluzione ≤ 30cps ≤ 30cps
Intervallo di temperatura 1-60°C 1-60°C
Particelle atomizzate (valore medio) 10-45 μm (acqua distillata), determinata dalla frequenza dell'ugello 10-45 μm (acqua distillata), determinata dalla frequenza dell'ugello
Pressione di deviazione massima ≤ 0,10 MPA ≤ 0,15 MPA
Voltaggio di ingresso 220V±10%/50-60Hz 220V±10%/50-60Hz
Modalità di esercizio X+Y due assi completamente automatici, regolazione manuale dell'asse Z XYZ a tre assi, programmabile in modo indipendente
Modalità di controllo Carta microcomputer, touch screen da 7 pollici + pulsanti FUNSONIC sistema di controllo dello spruzzo, controllo PLC, schermo touch full-color da 13,3 pollici
Contenuto del controllo Spruzzo ad ultrasuoni, approvvigionamento di liquidi, riscaldamento, dispersione ad ultrasuoni e altri sistemi Spruzzo ad ultrasuoni, approvvigionamento di liquidi, riscaldamento, dispersione ad ultrasuoni e altri sistemi
Metodo di approvvigionamento di liquidi Pompa di iniezione di precisione Pompa di iniezione di precisione
Sistema di dispersione ad ultrasuoni (facoltativo) 50 ml, 40K, campionatore biologico 20 ml o 50 ml, 40K, campionatore biologico
Potenza nominale del sistema di dispersione ad ultrasuoni 200W, 10A 100 W


 

Vantaggi:

 

1Copertura uniforme della pellicola su varie superfici.
2. in grado di rivestire scanalature ad alto rapporto di aspetto con un'eccellente uniformità.
3- Spray non intasante.
4. capace di depositare strati sottili di singolo micron altamente uniformi.
5- Processo di spruzzatura maturo ripetibile.


   Sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori 0

Sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori 1

 

Sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori 2

 


 

 

 


 

 

 

 


 

 

 

Sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori

 

Sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori 3

Sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori 4

 

 

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MOQ: 1 unità
prezzo: Negotation
standard packaging: imballato dal caso di legno
payment method: T/T, Western Union
Supply Capacity: Unità 1000 al mese
Informazioni Dettagliate
Luogo di origine
Cina
Marca
FUNSONIC
Certificazione
CE
Numero di modello
FS620
Nome della produzione:
Macchine per la spruzzatura ad ultrasuoni di precisione
Frequenza:
60 kHz
Potenza massima:
1-15W
Volume di spruzzatura continuo massimo:
20-1200 ml/h/pcs, scalabile
Larghezza effettiva di spruzzatura:
2-260 mm/pcs, scalabile
Uniformità della spruzzatura:
≥ 95%
Viscosità della soluzione:
≤ 30cps
Voltaggio di ingresso:
220V±10%/50-60Hz
Quantità di ordine minimo:
1 unità
Prezzo:
Negotation
Imballaggi particolari:
imballato dal caso di legno
Termini di pagamento:
T/T, Western Union
Capacità di alimentazione:
Unità 1000 al mese
Evidenziare

sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni

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Product Description

Sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori


 
Descrizione:


La spruzzatura ad ultrasuoni è un processo semplice, economico e riproducibile per il rivestimento fotoresistente nella lavorazione dei wafer in fotolitografia.Il sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori di FUNSONIC utilizza una tecnologia avanzata di stratificazione per controllare finemente il flussoIl stampaggio a spruzzo a bassa velocità definisce lo spruzzo atomizzato come un modello preciso e controllabile per evitare sovraspruzzo e produrre strati molto sottili e uniformi.
Il sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori di FUNSONIC ha vantaggi nel depositare rivestimenti più uniformi.specialmente lungo la parte superiore delle pareti laterali di scanalature ad alto rapporto di aspetto e strutture a scanalature a forma di VLa rotazione centrifuga non può depositare rivestimenti uniformi lungo le pareti laterali, senza accumulare troppa fotoresistenza sul fondo della cavità.

 
 
Parametri:

 

Tipo di prodotto

Macchina per rivestimento a spruzzo ad ultrasuoni di precisione Tipo di ufficio di laboratorio

FS310

Intelligente macchina di rivestimento ad ultrasuoni di precisione tipo desktop

FS620

Frequenza di funzionamento dell'ugello di spruzzatura 20-200KHz 20-200KHz (Normalmente utilizzare 60100110120K)
Potenza dell'ugello 1-15W 1-15W
Volume di spruzzatura continuo massimo 00,01 - 50 ml/min 00,01 - 50 ml/min
Larghezza effettiva di spruzzatura 2-100 mm 2-100 mm
Uniformità della spruzzatura ≥ 95% ≥ 95%
Tasso di conversione della soluzione ≥ 95% ≥ 95%
Spessore della pellicola secca 20 nm-100 μm 20 nm-100 μm
Viscosità della soluzione ≤ 30cps ≤ 30cps
Intervallo di temperatura 1-60°C 1-60°C
Particelle atomizzate (valore medio) 10-45 μm (acqua distillata), determinata dalla frequenza dell'ugello 10-45 μm (acqua distillata), determinata dalla frequenza dell'ugello
Pressione di deviazione massima ≤ 0,10 MPA ≤ 0,15 MPA
Voltaggio di ingresso 220V±10%/50-60Hz 220V±10%/50-60Hz
Modalità di esercizio X+Y due assi completamente automatici, regolazione manuale dell'asse Z XYZ a tre assi, programmabile in modo indipendente
Modalità di controllo Carta microcomputer, touch screen da 7 pollici + pulsanti FUNSONIC sistema di controllo dello spruzzo, controllo PLC, schermo touch full-color da 13,3 pollici
Contenuto del controllo Spruzzo ad ultrasuoni, approvvigionamento di liquidi, riscaldamento, dispersione ad ultrasuoni e altri sistemi Spruzzo ad ultrasuoni, approvvigionamento di liquidi, riscaldamento, dispersione ad ultrasuoni e altri sistemi
Metodo di approvvigionamento di liquidi Pompa di iniezione di precisione Pompa di iniezione di precisione
Sistema di dispersione ad ultrasuoni (facoltativo) 50 ml, 40K, campionatore biologico 20 ml o 50 ml, 40K, campionatore biologico
Potenza nominale del sistema di dispersione ad ultrasuoni 200W, 10A 100 W


 

Vantaggi:

 

1Copertura uniforme della pellicola su varie superfici.
2. in grado di rivestire scanalature ad alto rapporto di aspetto con un'eccellente uniformità.
3- Spray non intasante.
4. capace di depositare strati sottili di singolo micron altamente uniformi.
5- Processo di spruzzatura maturo ripetibile.


   Sistema di rivestimento per litografia ad ultrasuoni fotoresistente a semiconduttori 0

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