Sistema di rivestimento a spruzzo ultrasonico vortex ad alta temperatura da 60kHz

Sistema di spruzzatura a ultrasuoni vortex ad alta temperatura da 60 kHz

Descrizione: 

Il nostro sistema di spruzzatura a ultrasuoni vortex ad alta temperatura da 60 kHz integra un ugello di atomizzazione a ultrasuoni vortex da 60 kHz con struttura di raffreddamento integrata. Il trasduttore piezoelettrico genera vibrazioni ad alta frequenza per trasformare i precursori liquidi in sottili micro-goccioline. Il gas di modellazione a vortice a bassa velocità forma un campo di spruzzo conico stabile senza un forte impatto sui substrati.

L'assemblaggio di raffreddamento dell'ugello isola il calore dal piano di riscaldamento ad alta temperatura, che può raggiungere fino a 500-600°C. Questo design consente l'essiccazione in situ e la decomposizione termica delle soluzioni precursori direttamente sulla superficie del substrato.

Rispetto agli ugelli di spruzzatura a ultrasuoni focalizzati convenzionali, il tipo vortex offre una larghezza di spruzzo effettiva maggiore e un'uniformità di rivestimento superiore. La nebbia soffice riduce notevolmente l'overspray e migliora l'utilizzo del materiale oltre il 90%, risparmiando costosi materiali precursori di metalli preziosi. Le prestazioni di autopulizia ultrasonica minimizzano l'intasamento dell'ugello per sospensioni, sol e soluzioni saline.

Dotato di modulo di alimentazione liquida di precisione, unità di controllo gas indipendente e piattaforma di movimento servo XYZ, il sistema supporta percorsi di rivestimento programmabili. Può depositare film sottili che vanno da decine di nanometri a micrometri.

Le applicazioni tipiche includono strati catalitici per celle a combustibile e rivestimenti PEM, celle solari a perovskite, film di ossido di metallo e TCO, rivestimenti funzionali per MEMS e wafer, fabbricazione di nanofilm per sensori.

Parametri: 

Vantaggi:

1. Copertura uniforme con spruzzo vortex, larghezza di spruzzo effettiva maggiore in un singolo passaggio
2. Design compatibile con alte temperature. Ugello con struttura di raffreddamento per supportare il processo di decomposizione termica del substrato
3. Elevato utilizzo del materiale oltre il 90%, risparmio di costose soluzioni precursori
4. Autopulizia ultrasonica, basso rischio di intasamento dell'ugello, compatibile con sospensioni, sol e precursori salini
5. Nebbia soffice a basso impatto, nessun danno a substrati porosi o film sottili preformati
6. Controllo preciso dello spessore del film. Deposizione multistrato per produrre film sottili dalla scala nanometrica a quella micrometrica
7. Gas di modellazione a vortice a bassa pressione, minimo rimbalzo delle goccioline e basso overspray

Sistema di spruzzatura a ultrasuoni vortex ad alta temperatura da 60 kHz